5月10日，理化所举办紫外光刻机的原理及应用报告会，邀请ABM亚太公司工程师杨钟、高铭华为全所师生讲解新购置的ABM/6/350/NUV/DCCD/M型紫外光刻机及CEE200CBX型匀胶烘胶机的原理、仪器配置及使用方法。

报告分为原理及应用讲解和仪器实际操作培训两个部分。在上午的仪器原理、构造及应用实例讲解环节，杨钟工程师详细讲解了紫外光刻的原理、ABM/6/350/NUV/DCCD/M型紫外光刻机的仪器构成及各部分的功能、仪器的性能指标以及该仪器的应用实例。

下午，杨钟工程师在设备现场为师生进行了仪器实际操作培训，详细讲解了ABM/6/350/NUV/DCCD/M型紫外光刻机和CEE200CBX型匀胶烘胶机的各部分结构、功能以及操作方法，演示了匀胶、烘胶、掩模对准套刻、曝光等相应光刻工艺。参加培训的师生在工程师的指导下进行了仪器实际动手操作，增进对仪器的了解和熟悉。培训过程中师生踊跃提问，积极动手实际操作，工程师针对大家提出的问题耐心细致地进行讲解。

仪器原理讲解

仪器实际操作培训

培训会会场

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