专利名称: 用气体对流换热对探针实施冷却/加热的冰镊/光刻装置
专利类别: 发明
申请号: 200810102475.6
申请日期: 2008-3-21
专利号: ZL200810102475.6
第一发明人:
其它发明人:
国外申请日期:
国外申请方式:
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实施情况:
专利证书号:
专利摘要:
其它备注: