仪器型号：Quanta FEG 250

　　生产厂家：美国FEI公司

　　操作方式：管理人员与用户操作相结合

　　放置地点：1号楼123房间

　　服务时间：周一至周五，8:00-17:00

　　管理人员：田利丰

　　联系方式：010-82543460; tianlifeng@mail.ipc.ac.cn

　　仪器简介：Quanta FEG 250环境扫描电镜利用在不同环境、气氛条件下电子束与物质相互作用产生的各种信号进行成像，对样品进行表面形貌和成份分析。主要技术指标：电子枪和高压：热场发射枪，加速电压0.5-30kV。分辨率：高真空模式：1.0nm@30kV（SE），2.0nm@30kV（BSE）， 3.0nm@1kV（SE）；低真空模式：1.4nm@ 30kV（SE），2.5nm@30kV（BSE），3.0nm@ 3kV（SE）；环扫模式（ESEM）：1.4nm@30kV（SE）。腔内真空：2000Pa以下。腔内温度：-20°C ~ +50°C。能谱：可鉴定的元素成分：Be-U，分辨率137eV。

　　功能用途：可实现不同环境条件下材料表面形貌观测、微观结构和成分分析。