结构分析室仪器

原子层沉积仪

稿件来源: 发布时间:2020-03-23

 

  仪器型号:TFS 200

  生产厂家:芬兰Beneq公司

  操作方式:管理人员与用户操作相结合

  放置地点:1号楼124房间

  服务时间:周一至周五,8:00-17:00

  管理人员:李玄泽

  联系方式:010-82543562; lixuanze@mail.ipc.ac.cn

  仪器简介:热反应腔最大直径,200mm;最高加热温度,400℃;样品尺寸,8英寸及以下;沉积材料,氧化铝、二氧化铪和氮化钛等纳米薄膜材料;厚度均匀性:≤±1.0% (4英寸)。

  功能用途:该系统具备热ALD沉积功能,可用于8英寸及以下尺寸的基底氧化铝、二氧化铪和氮化钛等纳米薄膜材料的沉积。

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