仪器型号：CRX-4K
生产厂家：Lake Shore Cryotronics, Inc
操作方式：工作人员与用户操作相结合
服务时间：周一至周五
管理人员：陆珩
联系方式：010-82543458/82543558/82543593; luheng@mail.ipc.ac.cn
仪器简介：该闭式循环制冷探针台无需制冷剂，能够提供5.6K至670K的变温真空环境。所配备的电学、光学通道，结合光学激发/探测模块、半导体特征参数测试仪，适用于变温条件下对于样品光电、介电等物性的表征、研究。
详情参见：http://www.lakeshore.com/products/cryogenic-probe-stations/model-crx-4k-cryogenic-probe-station/pages/Overview.aspx
仪器指标：温度范围5.6K~670K，精度1×10^-4K，稳定度<±0.03K
                   真空度可达5×10^-4 torr
                   配备探针BeCu 3, 10, 25μm半径，Wu 25μm半径，应用频率可达1GHz
                   光学显微分辨率达4μm
                   标配样品台51×32mm²
                   高温样品台51mm半径
                   三同轴样品座51×32mm²（适用于对衬底施加电学调制）
                   电学测量臂4路，0~50MHz电学信号三同轴输出，行程51mm, 25mm, 18mm
                   光学测量臂1路，350nm~2100nm光学信号SMA输出，行程51mm, 25mm, 18mm
功能用途：变温条件下材料光电、介电性能测量。
主要附件：
    光学激发/探测模块
          激光光源：450nm (100mW), 532nm (80mW), 660nm (100mW)
          溴钨灯源：250W，350nm~2500nm，光斑直径80mm
          单色仪：200nm~2500nm，分辨率0.1nm
          硅光电探测器：300~1100nm，响应时间<10ns
          斩波器：SR540 (Stanford Instruments)
          锁相放大器：SR830 (Stanford Instruments)
     半导体特征参数测试仪

          I-V测试模块：0-200V，电压分辨率1mV，电流分辨率0.1fA，4路通道
          C-V测试：1kHz-10MHz，测试电容范围1pF-1mF，精度±0.1%
         双通道快速I-V模块：电压范围0-40V，电流范围0-800mA，脉冲输出分辨率20ns