仪器型号：4200-SCS
生产厂家：Keithley, Tektronix
操作方式：工作人员与用户操作相结合
服务时间：周一至周五
管理人员：陆珩
联系方式：010-82543458/82543558/82543593; luheng@mail.ipc.ac.cn
仪器简介：4200-SCS是一款能进行器件、材料或过程电气特性分析的模块化全集成参数分析仪。利用4路SMU（数字源表测量单元）、4路PA（远端前置放大器）、1路CVU（电容/电压测量单元）、1路PMU（双通道快速I-V测量单元），能够进行直流、交流、超快方面的电学表征、测试。
详情参见：http://www.keithley.com.cn/products/dcac/currentvoltage/4200scs
资料下载：http://ddl.escience.cn/f/t1Sx

仪器指标：
    4200-SCS主机：前面板具有12’’显示屏，主机具有9个插槽，可安装多个测量测试模块，扩展其功能。
    4路4200-SMU：用于获取待测物的I-V曲线，电压输出和测量范围0至200V；最小电压测量分辨率1μV，最小电压输出分辨率5μV；电流输出和测量范围0至100mA；最小电流测量分辨率100fA，最小电流输出分辨率5pA。
    4路4200-PA：用于连接4200-SMU，扩展其电流量程，提高测量精度。电流输出和测量量程拓展至1pA；最小电流测量分辨率为0.1fA，最小电流输出分辨率为1.5fA。
    1路4210-CVU：用于获取C-V曲线，测量Cp-G，Cp-D，Cs-Rs，Cs-D，R-jx，Z-theta参数。测试信号频率范围1kHz至10MHz；频率精度±0.1%；信号输出电平范围10mV至100mV；直流偏置±30V，差分模式最大输出60V；电容测量范围1pF至1μF。
    1路4225-PMU：用于超快电学脉冲测量。电压输出和测量范围0至40V；电流输出和测量范围0至800mA；电压测量最快脉冲70ns，其中测量时间20ns；电流测量最快脉冲160ns，其中测量时间20ns；最小电流测量量程100uA，精度±(0.5%读数+1μA)。
功能用途：配合微操作低温探针台，实现材料在变温(5.6K~670K)真空环境下直流、交流、超快脉冲光电、介电物性表征和测量。